Содержание выпусков
журнала
«Известия СПбГЭТУ "ЛЭТИ"»
2015 Вып. 6
Физические явления в твердых телах,
жидкостях и газах
А. С. Киселев, Е. А. Смирнов
Санкт-Петербургский государственный электротехнический
университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
Исследование вольт-амперных характеристик
лазеров тлеющего разряда
Исследованы вольт-амперные характеристики тлеющего разряда в узких протяженных трубках, характерных для газоразрядных лазеров. Получены аппроксимирующие выражения для падающих вольт-амперных характеристик в виде степенной функции, включающей разрядный ток, протяженность разрядного промежутка и продольный градиент потенциала положительного столба, рассчитываемый в автоматизированном режиме. Найдены аппроксимирующие функции, позволяющие производить расчет вольт-амперных характеристик для заданного суммарного давления активной газовой смеси. Достигнуто хорошее согласование расчетных и обширных экспериментальных результатов.
Тлеющий разряд, градиент потенциала, вольт-амперная характеристика, разрядный ток,
давление газа, аппроксимация
A. S. Kiselev, E. A. Smirnov
Saint-Petersburg state electrotechnical university «LETI»
RESEARCH OF VOLT-AMPERE CHARACTERISTICS OF GLOW DISCHARGE LASERS
Volt-ampere characteristics of a glow discharge in narrow extended tubes, characteristic for gas-discharge lasers are investigated. The approximating expressions for the falling volt-ampere characteristics in the form of the power function including digit current, extent of a digit interval and the longitudinal gradient of potential of a positive column counted in the automated mode are received. The approximating functions allowing calculation of volt-ampere characteristics for the set total pressure of active gas mix are found. Good agreement of calculated and extensive experimental results is reached.
Glow discharge, gradient of the potential, volt-ampere characteristics, discharge current,
gas pressure, approximation
В. П. Пронин, А. Г. Канарейкин
Российский государственный педагогический университет им. А. И. Герцена
И. П. Пронин, Е. Ю. Каптелов, С. В. Сенкевич
Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе
В
. Т. Барченко, Д. К. Кострин
Санкт-Петербургский государственный электротехнический
университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
Методом дифракции отраженных электронов проведен анализ фазового состава тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца (PZT), сформированных по двухстадийной технологии (ВЧ магнетронное распыление керамической мишени и последующий высокотемпературный отжиг), в зависимости от технологических условий и температуры термообработки.
Тонкие пленки PZT, дифракция отраженных электронов, морфотропная фазовая граница,
моноклинная фаза
V. P. Pronin, A. G. Kanareykin
Herzen state pedagogical university of Russia
I. P. Pronin, E. Yu. Kaptelov, S. V. Senkevich
Ioffe Institute
V
. T. Barchenko, D. K. Kostrin
Saint-Petersburg state electrotechnical university «LETI»
PHASE ANALYSIS OF THIN FERROELECTRIC Pb(Zr, Ti)O3 FILMS BY THE METHOD
OF ELECTRON BACKSCATTER DIFFRACTION
By the method of electron backscatter diffraction the investigation of phase composition of the ferroelectric thin films of lead zirconate titanate (PZT), formed by two-stage technology (RF magnetron sputtering of ceramic targets and subsequent high-temperature annealing), depending on process conditions and temperature of heat treatment is carried out. It revealed the coexistence of two crystalline phases – monoclinic and tetragonal, and their correlation with different annealing temperatures.
Thin film PZT, electron backscatter diffraction, morphotropic phase boundary, monoclinic phase
Физическая электроника и технологии микро-
и наноструктур
С. И. Саликеев, А. В. Бурмистров, А. В. Тюрин, С. М. Пузанков
Казанский национальный исследовательский технологический университет
Исследование предельного остаточного давления
вакуумных насосов, применяемых
в производстве изделий электроники
Представлены экспериментальные зависимости получения вакуума и определены значения предельного остаточного давления безмасляного спирального вакуумного насоса. Построены зависимости предельного остаточного давления от частоты вращения спирали. Показано, что время работы насоса, рекомендованное в ГОСТ Р54807–2011 для фиксации остаточного давления, недостаточно, что связано с длительными процессами обезгаживания и выхода насоса на стационарный режим, включая тепловую стабилизацию зазоров и внутренних перетеканий.
Спиральный вакуумный насос, остаточное давление, обезгаживание, тепловая стабилизация
S. I. Salikeev, A. V. Burmistrov, A. V. Tyurin, S. M. Pyzankov
Kazan national research technological university
RESEARCH OF LIMIT RESIDUAL PRESSURE OF THE VACUUM PUMPS USED
IN PRODUCTION OF ELECTRONIC DEVICES
Experimental dependences of receiving vacuum are achieved and values of limit residual pressure of the oil-free spiral vacuum pump are defined. Dependences of limit residual pressure on the frequency of rotation of a spiral are described. It is shown that the pump operating time recommended in GOST P54807–2011 for fixing of residual pressure isn't enough that is connected with long processes of outgassing and transition of the pump to the stationary mode, including thermal stabilization of gaps and internal overflowings.
Spiral vacuum pump, residual pressure, outgassing, thermal stabilization
Информатика и компьютерные технологии
Е. Г. Воробьев
Санкт-Петербургский государственный электротехнический
университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
Поделитесь с Вашими друзьями: |
